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高精度非球面和自由形狀表面磨床
ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度車削和研磨自由形狀表面(fθ 透鏡)和非球面透鏡及其各自的模具。另外,機床結構和選件可用于各種應用,具有較高的性價比。
一、應用
二、功能
1、高精度空氣靜力軸承主軸(研磨主軸、工作主軸)
(1)精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性,還實現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸:20nm/SPAM
工作主軸:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過“單點異步誤差運動”方法測量
(2)考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器,可實現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面,多孔限流器大大減少了空氣消耗,本公司根據(jù)慣例實現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量,因此,利于節(jié)能減排。
2、高精度滾針V-V導軌
(1)高可重復性,高加工效率
低摩擦力導軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術和精選高精度軋輥,對納米范圍進給速率響應度高,消了逆向進給的延遲。該導軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌,但精度能保持相似。
(2)考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒有靜態(tài)導軌常見的流體溫度波動,以保穩(wěn)定的精度,同時無需使用液壓裝置之類的設備,即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
3、軸驅動技術
(1)優(yōu)化的設計
在考慮性價比的前提下,針對每種機器類型和軸優(yōu)化設計了滾珠螺桿驅動系統(tǒng)和線性馬達驅動系統(tǒng)。
(2)考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅動系統(tǒng),我們開發(fā)并利用耦合器,解決了滾珠螺桿旋轉所造成的常見應力和振蕩問題。
三、主要規(guī)格
(1)車床
型號
ULC-100D(S)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
Y 軸 (mm)
25
Z 軸 (mm)
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進給速率(mm/min)
X、Z:500
Y: 300
工作主軸
旋轉速度
(min-1)
0-1500
真空吸盤直徑 (mm)
π100
C 軸功能
——
研磨主軸速度 (min-1)
——
B 軸車削工作臺
進給速率(度/分鐘)
——
編程分辨率(度)
——
軸結構,括號 () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸
可選配件
噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等
(2)車削和研磨機床
型號
ULG-100E(HY)
ULG-100D(HYS)
ULG-100D(HYB)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
300
300
Y 軸 (mm)
20
25
25
Z 軸 (mm)
150
150
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進給速率(mm/min)
X、Z:500
Y: 300
工作主軸
旋轉速度(min-1)
0-1500
真空吸盤直徑 (mm)
π100
C 軸功能
配件
標配
研磨主軸速度 (min-1)
5000-40000
10000-60000
B 軸車削工作臺
進給速率(度/分鐘)
——
0-1080
編程分辨率(度)
——
0.0001
軸結構,括號 () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸(C軸)
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸
可選配件
冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件、非對稱非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、集霧器等
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對稱非球面表面加工軟件。
(3)自由形狀表面車削和研磨機床
型號
ULG-100D(H3)
ULG-100D(5A)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
450
Y 軸 (mm)
100
100
Z 軸 (mm)
150
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進給速率(mm/min)
X 軸、Z 軸、Y 軸: 500
工作主軸
旋轉速度(min-1)
0-1500
真空吸盤直徑 (mm)
π100
C 軸功能
標配
研磨主軸速度 (min-1)
5000-40000
10000-60000
B 軸車削工作臺
進給速率(度/分鐘)
——
編程分辨率(度)
——
軸結構,括號 () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸、C軸
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸
可選配件
冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件、非對稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等