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高精密磨床
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ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度車削和研磨自由形狀表面（fθ 透鏡）和非球面透鏡及其各自的模具。另外，機(jī)床結(jié)構(gòu)和選件可用于各種應(yīng)用，具有較高的性價比。
一、功能
1、高精度空氣靜力軸承主軸（研磨主軸、工作主軸）（1）精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性，還實(shí)現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸：20nm/SPAM
工作主軸：5nm/SPAM (*1)
（*1) 通過單點(diǎn)異步誤差運(yùn)動方法測量
（2）考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面，多孔限流器大大減少了空氣消耗，本公司根據(jù)慣例實(shí)現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量，因此，利于節(jié)能減排。
2、高精度滾針V-V導(dǎo)軌
（1）高可重復(fù)性，高加工效率
低摩擦力導(dǎo)軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥，對納米范圍進(jìn)給速率響應(yīng)度高，消了逆向進(jìn)給的延遲。該導(dǎo)軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導(dǎo)軌，但精度能保持相似。
（2）考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒有靜態(tài)導(dǎo)軌常見的流體溫度波動，以保穩(wěn)定的精度，同時無需使用液壓裝置之類的設(shè)備，即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
3、軸驅(qū)動技術(shù)
（1）優(yōu)化的設(shè)計
在考慮性價比的前提下，針對每種機(jī)器類型和軸優(yōu)化設(shè)計了滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng)和線性馬達(dá)驅(qū)動系統(tǒng)。
（2）考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng)，我們開發(fā)并利用耦合器，解決了滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)所造成的常見應(yīng)力和振蕩問題。
三、主要規(guī)格
（1）車床
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型號 |
ULC-100D(S) |
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直線行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
|
Y 軸 (mm) |
25 | |
|
Z 軸 (mm) |
150 | |
|
編程分辨率 (nm) |
1 |
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|
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X、Z：500 Y： 300 |
|
|
工作主軸 |
旋轉(zhuǎn)速度 (min-1) |
0-1500 |
|
真空吸盤直徑 (mm) |
π100 |
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|
C 軸功能 |
—— | |
|
研磨主軸速度 (min-1) |
—— | |
|
B 軸車削工作臺 |
進(jìn)給速率（度/分鐘） |
—— |
|
編程分辨率（度） |
—— |
|
|
軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸，Y 軸，Z 軸 |
|
|
可選配件 |
噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等 |
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（2）車削和研磨機(jī)床
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型號 |
ULG-100E(HY) |
ULG-100D(HYS) |
ULG-100D(HYB) |
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|
直線行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
300 |
300 |
|
Y 軸 (mm) |
20 |
25 |
25 |
|
|
Z 軸 (mm) |
150 |
150 |
150 |
|
|
編程分辨率 (nm) |
1 |
|||
|
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X、Z：500 Y： 300 |
|||
|
工作主軸 |
旋轉(zhuǎn)速度(min-1) |
0-1500 |
||
|
真空吸盤直徑 (mm) |
π100 |
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|
C 軸功能 |
配件 |
標(biāo)配 |
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|
研磨主軸速度 (min-1) |
5000-40000 | 10000-60000 | ||
|
B 軸車削工作臺 |
進(jìn)給速率（度/分鐘） |
—— | 0-1080 | |
|
編程分辨率（度） |
—— |
0.0001 | ||
|
軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸，Y 軸，Z 軸（C軸） |
X 軸，Y 軸，Z 軸、B軸、C軸 |
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|
可選配件 |
冷卻劑供應(yīng)裝置、噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件、非對稱非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、集霧器等 |
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(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對稱非球面表面加工軟件。
（3）自由形狀表面車削和研磨機(jī)床
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型號 |
ULG-100D(H3) |
ULG-100D(5A） |
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直線行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
450 |
| Y 軸 (mm) | 100 |
100 |
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| Z 軸 (mm) | 150 | 150 | |
|
編程分辨率 (nm) |
1 |
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|
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X 軸、Z 軸、Y 軸： 500 |
||
|
工作主軸 |
旋轉(zhuǎn)速度(min-1) |
0-1500 |
|
|
真空吸盤直徑 (mm) |
π100 |
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|
C 軸功能 |
標(biāo)配 | ||
|
研磨主軸速度 (min-1) |
5000-40000 |
10000-60000 |
|
|
B 軸車削工作臺 |
進(jìn)給速率（度/分鐘） |
—— |
|
|
編程分辨率（度） |
—— |
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軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸，Y 軸，Z 軸、C軸 |
X 軸，Y 軸，Z 軸、B軸、C軸 |
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可選配件 |
冷卻劑供應(yīng)裝置、噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對稱非球面表面加工軟件、非對稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等 |
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